Эллипсометрические исследования особенностей формирования пленок HfO2 на оптическом стекле
Аннотация:
В спектральной области 314–632 нм проведены многоугловые эллипсометрические исследования пленок диоксида гафния толщиной 30–300 нм, нанесенных на оптическое стекло методом напыления материала электронным пучком. Обнаружено, что совокуп- ность эллипсометрических данных можно описать в модели двухслойной отражательной системы. Найдены параметры системы. Внутренний слой является однородным, его показатель преломления в пределах погрешности процедуры вычисления одинаковый для всех исследованных образцов, а толщина растет в процессе напыления пленки. Внешний слой имеет меньший показатель преломления, чем внутренний, а его толщина для разных образцов изменяется в пределах 10–20 нм.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Оценка основных параметров волноводного микрорезонаторного преобразователя ИК изображений.
- Новые технологические волноводные СО2 -лазеры киловаттного уровня мощности с высоким качеством излучения
- Нелинейное и наведенное электронным пучком поглощение в чистых кварцевых стеклах на длинах волн эксимерных лазеров
- Исследование воздействия излучения 193 нм и 223 нм эксимерных лазеров на роговицу глаза человека в рефракционной хирургии
- Выбор оптической схемы и расчет малогабаритных объективов для мобильных телефонов
- Разработка оптического датчика для локального мониторинга загрязнения воздуха в Мехико
- Реконструкция смазанных и зашумленных изображений без использования граничных условий
- Зависимость параметров паразитного наноструктурирования рельефно-фазовых голограммных структур на тонких пленках халькогенидного стеклообразного полупроводника от высоты их рельефа
- Исследование термостабильности зеркального телескопа – солнечного лимбографа в режиме непрерывного наблюдения за Солнцем
- Развитие теории Карда для металлодиэлектрических фильтров
- Просветляющие покрытия на подложках из германия и кремния в окнах прозрачности ИК области спектра 3–5 мкм и 8–12 мкм
- Свойства многокомпонентных ахроматических и суперахроматических волновых пластинок нулевого порядка