Например, Бобцов

Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и пиролитического осаждения тонких оксидных слоев

Аннотация:

Рассмотрены вопросы очистки кремнийэлементорганических соединений и алкоголятов элементов методами ректификации, кристаллизации и адсорбции для процессов получения тонких оксидных слоев, а также многослойных структур различного функционального назначения.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере