Перспективы развития оптических систем для нанолитографии
Аннотация:
Рассмотрены принципы создания высокоразрешающих проекционных фотолитографических объективов и требования к оптическим материалам для них. Показано, что одним из наиболее перспективных материалов для создания объективов для фотолитографии на длинах волн 248 и 193 нм является флюорит. Рассмотрены перспективы развития линзовых проекционных объективов с высокой числовой апертурой, современное состояние технологии производства, а также методы аттестации основных оптических параметров флюорита фотолитографического качества. Изготовлены и аттестованы кристаллы флюорита диаметром до 300 и толщиной до 50 мм. Кристаллы, выращенные по разработанной технологии, имеют высокую прозрачность (99,92–99,96% на λ = 193 нм) и высокую оптическую однородность (Δn = (1–4)×10–6), малое двулучепреломление (δ = 0,5–2,0 нм/см). В кристаллах практически отсутствует люминесценция. Даны предложения по развитию фотолитографической оптики.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Основные погрешности контроля соосности с помощью авторефлексионной оптико-электронной системы
- Физическое моделирование двухволнового метода измерений в авторефлексионной оптико-электронной системе контроля смещений
- Геометрические и оптические свойства афокальной двухзеркальной системы
- Разработка алгоритма и программы для расширения возможностей метода оценки качества изображения оптических систем
- Разработка и исследование интерферометра на основе схемы Ронки и программного обеспечения для расшифровки интерферограмм
- Исследование возможности построения трехкоординатной анаморфозной системы измерения параметров угловой пространственной ориентации
- Аберрационная структура пятна рассеяния в изображении точки при децентрировке элементов оптической системы
- Влияние перефокусировки изображения на структуру осевого пучка лучей
- Современные тенденции в оптических технологиях, применяемых для улучшения выходных характеристик оптических и оптико-электронных систем
- Новые разработки научной и медицинской аппаратуры на Красногорском заводе им. С.А. Зверева
- Разработка лазерных дальномеров-биноклей на Красногорском заводе им. С.А. Зверева
- Новый подход к разработкам оптико-электронных средств мониторинга околоземного космического пространства
- Акустооптический метод спектрально-поляризационного анализа изображений
- Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и пиролитического осаждения тонких оксидных слоев
- Совершенствование технологии сборки высококачественных призменных модулей методом глубокого оптического контакта
- Многоканальный прибор для дистанционной диагностики технического оборудования
- Панкратические прицелы с автоматической установкой углов прицеливания для современных снайперских комплексов
- Защита от прямых засветок в системе звездного астрографа для Межпланетной стереоскопической обсерватории
- Оптико-электронная система для контроля смещений на основе реперных меток излучающих диодов
- Экспериментальное исследование реакции фоточувствительных элементов оптико-электронных приборов на импульсную засветку
- Дифференциальные рефрактометры для анализа прозрачных сред
- Сравнение температурных и электрических методов управления длиной волны излучения полупроводниковых лазеров