Оптическое приборостроение для микроэлектроники
Аннотация:
Статья посвящена работам Конструкторского бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ-OMO), которое уже более 50 лет обеспечивает микроэлектронику оптико-механическим оборудованием. Благодаря применению этого оборудования размеры элементов интегральных схем уменьшились в 30 раз (с 5 мкм до 180 нм), точность их расположения на всей площади кристалла увеличилась в 200 раз (с 2 мкм до 10 нм). Первые интегральные схемы с десятками транзисторов превратились в сложные функциональные системы с миллиардами транзисторов.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Проводимость и фотопроводимость гранулированной плёнки серебра на сапфировой подложке
- Динамика сильно поля светового импульса из малого числа колебаний при возбуждении плазмы в диэлектрической среде
- Оптические устройства виртуальных дисплеев
- Использование призменных элементов для построения плоских волноводных экранов
- Аналитическая методика расчета тепловых потоков в околоземном пространстве, формирующих тепловой режим космических телескопов
- Метод генерации амплитудных масок с постоянными спектрами мощности и их использование для измерения двумерных модуляционных передаточных функций оптических систем
- Оценка влияния динамического диапазона и шумов регистрирующих камер на качество цифровых голограмм
- Исследование одномодового режима работы микроструктурированных световодов с каналами вытекания излучения
- Быстрый обзор круговой зоны инфракрасной сканирующей системой с матричным фотоприемным устройством
- Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей
- Влияние технологических факторов на предельные характеристики неодимовых фосфатных стекол для крупногабаритных дисковых и стержневых активных элементов
- Использование Tm:YLF лазера для определения коэффициента диффузии хрома в ZnSe
- Analysis of Fabrication Tolerance Based on Uneven Thickness of Su8-photo-resist
- Решение Девятого съезда Оптического общества им. Д.С. Рождественского
- Книга "Оптика России. Очерки истории и развития"