Например, Бобцов

ОЦЕНКА ПАРАЛЛАКСА ИЗОБРАЖЕНИЯ МЕНИСКА ВЫРАЩИВАЕМОГО КРИСТАЛЛА

Аннотация:

Предложен подход, позволяющий исследовать параллакс изображения мениска кристалла, выращиваемого из расплава методом вытягивания, и оценить его влияние на метрологические характеристики оптических систем контроля геометрии кристалла.

Ключевые слова:

Статьи в номере