ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Аннотация:
Рассмотрены особенности синтеза голограмм-проекторов, предназначаемых для использования в голографическом варианте фотолитографического процесса. Основное внимание уделено влиянию дискретизации объекта и голограммы на структуру восстанавливаемого изображения. Сформулированы и обоснованы требования, предъявляемые к параметрам расчета и отображения синтезированных голограмм. Установлено, что дискретизация синтезированных голограмм приводит не только к появлению дополнительных восстанавливаемых изображений, но и к ограничению минимального размера элементов восстанавливаемых изображений величиной 1,5λ .
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Оптические схемы на основе конических элементов для формирования протяженных плазменных каналов в атмосфере.
- ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ САМОПОГЛОЩЕНИЯ В ЭРОЗИОННОЙ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЕ Ge, In, Pb, Ga, Cu НА ЕЕ СПЕКТРАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- ЗАВИСИМОСТЬ БИОЛОГИЧЕСКОЙ АКТИВНОСТИ НИЗКОИНТЕНСИВНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ОТ ЧАСТОТЫ ЕГО МОДУЛЯЦИИ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЕЛЕНИДА ЦИНКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОЛИРОВАЛЬНЫХ СМОЛ НА ОСНОВЕ КАНИФОЛИ
- ПРОСТРАНСТВЕННО-ЧАСТОТНЫЕ ФУНКЦИИ ЦВЕТОВЫХ КАНАЛОВ ОРГАНА ЗРЕНИЯ
- АДАПТИВНЫЕ ЛИНЗЫ НА ОСНОВЕ ЖИДКИХ КРИСТАЛЛОВ
- ВОЛОКОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР МАХА-ЦЕНДЕРА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ОДНОЧАСТОТНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЛАЗЕРОВ ДИАПАЗОНА 1,32 МКМ И 1,55 МКМ
- АНАЛИЗ ТРЕБОВАНИЙ К ПРИЕМНИКАМ ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ КАМЕРЫ ПОЛЯ КОСМИЧЕСКОГО ТЕЛЕСКОПА Т-170М ПРОЕКТА “СПЕКТР-УФ”
- ПРЕЦИЗИОННЫЕ ДАЛЬНОМЕРЫ НА ОСНОВЕ ДВУХВОЛНОВОГО ИНЖЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРА
- РЕШЕНИЕ ПРОБЛЕМЫ ТОЧНОГО ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТА В ЛАЗЕРНОМ СКАНИРУЮЩЕМ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНО-ФАЗОВОМ АБЕРРОМЕТРЕ
- ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ПЗС ФОТОПРИЕМНИКОВ В АКУСТО-ОПТИЧЕСКИХ СРЕДСТВАХ ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ
- АНИЗОТРОПИЯ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И НЕОДНОРОДНОСТЬ ПЛАСТИЧЕСКИ ДЕФОРМИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ
- ОСОБЕННОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ КАК ОПТИЧЕСКИХ СРЕД ДЛЯ ИНФРАКРАСНОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА