Например, Бобцов

ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Аннотация:

Рассмотрены особенности синтеза голограмм-проекторов, предназначаемых для использова­ния в голографическом варианте фотолитографического процесса. Основное внимание уделено влиянию дискретизации объекта и голограммы на структуру восстанавливаемого изображения. Сформулированы и обоснованы требования, предъявляемые к параметрам расчета и отображе­ния синтезированных голограмм. Установлено, что дискретизация синтезированных голограмм приводит не только к появлению дополнительных восстанавливаемых изображений, но и к огра­ничению минимального размера элементов восстанавливаемых изображений величиной 1,5λ .

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере