Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (10)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.