Например, Бобцов

Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

Аннотация:

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.

Ключевые слова:

Статьи в номере