Статья ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И МОДИФИКАЦИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК НИТРИДА УГЛЕРОДА Прудников А.М., Линник А.И., Шалаев Р.В. , Румянцев В.В., Кучерик А.О., Алоджанц А. П. , Аракелян С.М.