Технология сборки крупноформатных инфракрасных фотоприёмных модулей на индиевых микростолбах
Аннотация:
Исходное плоскопараллельное положение фотоприемной матрицы (ФПМ) и кремниевого мультиплексора (МП) возникает при соприкосновении верхушек индиевых микростолбов под действием лишь силы тяжести ФПМ. Ориентацию кристаллов (поxy) проводим в видимом свете, используем выносные реперные знаки на ФПМ. Цепочки лазерных микропробоин в полиимиде выносных реперных знаков совмещаем с реперными знаками на МП. Учитываем исходные погрешности всех осевых линий;погрешность совмещения достигает ± 0,4 мкм (по xy). На всех стадиях сборки МП включен, наблюдаем прикасание и сварку микростолбов.Во избежание перекосов планаров (по z) применяем стоп-ограничители подходящей высоты, расположенные по периметру ФПМ.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Матричные микроболометрические приемники для инфракрасного и терагерцового диапазонов
- Матричные фотоприемные устройства инжекционного типа на основе легированных теллуридов свинца и олова: возможности и перспективы
- Семейство крупноформатных линейных фоточувствительных приборов с зарядовой связью с разрешением 38,5 пар лин/мм
- Фотоприемник длинноволнового инфракрасного диапазона с аналоговым режимом временной задержки и накопления
- Линейчатый фотоприемник формата 288×4 с двунаправленным режимом временной задержки и накопления
- Матричные фотоприемники 320×256 со встроенным коротковолновым отрезающим фильтром
- Сравнение токовых характеристик фотодиодов, сформированных на пленках CdHgTe, выращенных методами молекулярно-лучевой и жидкофазной эпитаксии, для спектрального диапазона 8–12 мкм
- Долговременная стабильность фоторезисторов спектрального диапазона 8–12 мкм, изготовленных из гетероэпитаксиальных структур CdHgTe, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
- Исследование процессов формирования инфракрасного фотоприемника на основе CdHgTe в монолитном исполнении
- Наноструктуры на основе CdHgTe для фотоприемников
- Материалы для фотоприемников на межподзонных переходах в GaN/AlGaN- квантовых точках
- Способ формирования единого информационного поля в приборе наблюдения
- Использование сегментации для автоматизация дешифрирования многоспектральных изображений