Например, Бобцов

ВЫСОКОТОЧНЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ РАДИУСОВ КРИВИЗНЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Аннотация:

Рассмотрена задача высокоточного контроля радиусов кривизны оптических зеркал, применяемого для современного метрологического обеспечения в оптических технологиях. Выполнен сравнительный анализ технических характеристик современных интерференционных систем и оптико-электронных приборов на основе датчиков волнового фронта типа Шака—Гартмана (ДВФ). Предложено оригинальное схемотехническое решение, позволяющее использовать оптико-электронные приборы на основе датчиков волнового фронта для измерения радиусов кривизны оптических поверхностей. Предложен и научно обоснован новый высокоточный метод контроля радиусов кривизны поверхностей зеркал с относительным отверстием 0,1 с допустимой погрешностью измерения менее 0,01 % от номинала. Проанализирован выходной параметр функциональной схемы прибора на основе ДВФ — предельный радиус регистрируемого волнового фронта.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО