Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (49)
Скачать PDF0 Кбайт
С использованием двух методик синтезированы спектроделительные покрытия для диапазона 1,5–4 мкм. В первом случае структура покрытия спроектирована с применением четвертьволновой стопы с обрамляющими слоями, во втором – с использованием неравнотолщинных слоев. Исследована устойчивость спроектированных структур к ошибкам измерения толщины слоев, возникающим при реализации на практике многослойных тонкопленочных покрытий.