Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (49)
Скачать PDF0 Кбайт
Одной из основных задач при осаждении пленок является контроль толщины осаждаемого покрытия. В статье рассказывается о некоторых существующих методах и о новом, разработанном методе контроля.