Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (49)
Скачать PDF0 Кбайт
В статье дан обзор и проведен анализ технологий изготовления канальных волноводов на подложке из LiNbO3, а также рассмотрены конфигурации выполнения многофункциональных интегрально-оптических схем (МИОС) для волоконно-оптических гироскопов (ВОГ). В ходе работы получены рекомендации для оптимизации параметров изготовления канальных световодов на ниобате лития, из проведенного сравнения технологий получения полосковых волноводов сделаны выводы о наилучшей конфигурации МИОС для ВОГ.