Например, Бобцов

ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Аннотация:

Совершенствование технологии выращивания монокристаллов фторида кальция: получения наилучших характеристик пропускания в ВУФ-области спектра,  достижение минимальных значений двулучепреломления.

Ключевые слова:

Статьи в номере