Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (49)
Скачать PDF0 Кбайт
Сформулированы требования, предъявляемые к электродам микротопливных элементов на основе макропористого кремния. Разработана технологическая цепочка получения кремниевых электродов, включающая в качестве основных этапов процессы: анодирования, вскрытия пор и глубокого диффузионного легирования. Изучены особенности каждой технологической стадии.