Например, Бобцов

Метод бесконтактного контроля локальных геометрических характеристик микроструктуры поверхности объектов с использованием интерферометров малой когерентности

Аннотация:

Анализ микрорельефа шероховатых поверхностей имеет важное значение при проведении научных исследований и контроле качества в процессе производства многих видов изделий. При этом бесконтактные оптические методы представляют наибольший интерес.

Ключевые слова:

Статьи в номере