Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (15)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящей работе дано теоретическое обоснование применения теорий Друде-Борна и Релея-Райса для определения оптических характеристик шероховатой поверхности на неоднородной подложке. Показано, что методом эллипсометрии можно различать поляризационно-оптические свойства окисной пленки от микрорельефа поверхности.