Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (15)
Скачать PDF0 Кбайт
Рассмотрены вопросы, посвященные влиянию различных технологических факторов на распределение толщины слоев по поверхности подложки при формировании градиентных покрытий на оптических деталях с использованием оснастки, выполняющей перераспределение молекулярного потока испаренного пленкообразующего вещества от малого поверхностного испарителя.