Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (9)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящее время практическая область эллипсометрии уже хорошо исследована. Разработано множество высокоточных приборов и методик для диагностики поверхностей и многослойных структур. Например, с помощью эллипсометрии удается измерять толщину оксидной пленки подзатворного слоя на полевых кремниевых транзисторах с точностью до 0,01 нм. Однако большинство таких приборов спроектированы для работы только в лабораторных условиях.