Диагностика поверхностей тонких плёнок при использовании метода эллипсометрии в производственных условиях
Аннотация:
В настоящее время практическая область эллипсометрии уже хорошо исследована. Разработано множество высокоточных приборов и методик для диагностики поверхностей и многослойных структур. Например, с помощью эллипсометрии удается измерять толщину оксидной пленки подзатворного слоя на полевых кремниевых транзисторах с точностью до 0,01 нм. Однако большинство таких приборов спроектированы для работы только в лабораторных условиях.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Методика обучения студентов университета с использованием Интернет-технологий по дисциплине "Дискретная математика"
- Виртуальный музей истории создания и развития образовательного учреждения как составляющая его информационной среды
- Организация профессионального обучения программным продуктам на основе активизации познавательной деятельности обучающихся
- Исследование индивидуальных факторов успешности студентов при обучении computer science
- Асимптотики резонансов для двумерных волноводов, соединенных малыми отверстиями при граничном условии Неймана
- Исследование нелинейных колебаний механической системы с тремя степенями свободы на вибрирующей платформе
- Расчет блока радиоэлектронной аппаратуры с естественной вентиляцией
- Сравнительный анализ воздействия излучения лазерного и лампового источников на вены
- Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины
- Исследование и анализ физических процессов в газоразрядной ксеноновой лампе на стадии расширения плазменного канала
- Оптимизация спектральных характеристик газоанализатора моноксида углерода
- Сравнительный анализ методов компьютерной обработки видеокадров ПЗС-камер
- Оптико-электронная авторефлексионная система со специальным контрольным элементом для измерения линейных смещений
- О схемах построения прожекторов с круговой оптической равносигнальной зоной
- Особенности энергетического расчета оптико-электронных измерительных систем на основе матриц ПЗС
- Исследование методов повышения точности автоколлимационной оптико-электронной системы для измерения линейных смещений
- Исследование погрешности измерения поперечных смещений распределенной автоколлимационной системой контроля деформаций при изменениях яркости источников
- Экспериментальные исследования зависимости погрешности измерения поперечных смещений от количества измерений в распределенной автоколлимационной системе контроля деформаций
- Экспресс-метод бесконтактного обнаружения патогенных бактерий на поверхности мясных продуктов
- Сравнение эффективности различных методов синтеза оптических систем
- Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами
- Анализ поведения линейных характеристик цилиндрических гофрированных оболочек при однонаправленном сжатии
- Точное решение дифференциального уравнения, описывающего свободные и вынужденные колебания маятника с трением в точке подвеса
- О решении задачи синтеза магнитного поля в МР-томографе методом регуляризации с ограничениями и методом аппроксимации δ-функцией
- Аналитическое описание поведения поверхности Френеля в анизотропной среде с однонаправлено или периодически изменяющимся показателем преломления
- Движение жесткой эллипсоидальной оболочки, заполненной реальной жидкостью, около неподвижного центра тяжести
- Аналитическое описание плоской кривой, "данной свободным влечением руки"
- Решение уравнений Эйлера, описывающих движение тяжёлого твёрдого тела около неподвижной точки, в общем случае
- Аналитическое описание изгибаний сильфона с помощью абелевых функций
- Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники
- Идентификация динамики процесса циклического изнашивания
- Измерение некруглости валов
- Отыскание параметров зубчатых передач, обеспечивающих минимальные контактные напряжения
- Микромеханические кремниевые магнитометры
- Анализ сдвижения горных пород при отработке угольных пластов с точки зрения теории катастроф
- Исследование геометрии несимметричных профилей зубчатых колёс
- Локальная экзоэлектронная эмиссия как метод диагностики материалов
- Анализ материалов для оптического волокна
- Отражательная эллипсометрия в приборостроении