Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (9)
Скачать PDF0 Кбайт
Эллипсометрия является оптическим методом, дающим возможность бесконтактного выявления нарушений поверхности, программного моделирования воздействия структурных дефектов на свойства пленок, а также решения ряда других задач механики и оптики. Важной особенностью метода эллипсометрии является наличие матричного аппарата, который эффективно реализуется программным путем.