Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (40)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе приведено исследование распределения длины поликремниевого затвора МОП транзисторов по площади пластин с готовыми КМОП ИС. Рассмотрено влияние различных методов травления, а также степени лигирования пленки поликремния на изменение геометрии затвора.