Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (20)
Скачать PDF0 Кбайт
Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co60 в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO2.