Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (20)
Скачать PDF0 Кбайт
Данная работа посвящена получению периодических структур на основе щелевого кремния для интегральных фотонных схем. Такие структуры представляют собой одномерное фотонные кристаллы.