Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (20)
Скачать PDF0 Кбайт
Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.