Например, Бобцов

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ

Аннотация:

  Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере- дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека- нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.

Ключевые слова:

Статьи в номере