Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (38)
Скачать PDF0 Кбайт
Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере- дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека- нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.