Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (38)
Скачать PDF0 Кбайт
C помощью эллипсометрического и фотометрического методов выполнены измерения показателя пре- ломления пленки на основе тетраэтоксисилана. Показано, что методом эллипсометрии возможно не только определить показатель преломления, но и выявить неоднородность оптического профиля.