Например, Бобцов

ИЗМЕРЕНИЕ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ОДНОСЛОЙНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ

Аннотация:

  C помощью эллипсометрического и фотометрического методов выполнены измерения показателя пре- ломления пленки на основе тетраэтоксисилана. Показано, что методом эллипсометрии возможно не только определить показатель преломления, но и выявить неоднородность оптического профиля.

Ключевые слова:

Статьи в номере