Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (38)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе представлена детальная математическая модель сублимационного роста нитрида алюминия и ее упрощение на основе теории подобия. Рассчитанные на основе разработанной модели поля температуры в ростовом тигле, распределения скорости роста по поверхности кристалла и эволюции формы кристалла с хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Исследованы основные закономерности массобмена между ростовым тиглем и окружающей средой, выработаны рекомендации по оптимизации процесса.