Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:547.97: 535.8; 541.147
Номер:5 (63)
Скачать PDF0 Кбайт
Исследованы закономерности формирования полимерных микроструктур в светоотверждаемом нано-композите. Установлена связь размерных характеристик микроструктур с экспозиционными параметрами, характеристиками амплитудной маски, толщиной слоя. Выявлена роль эффектов диффузии, ингибирования кислородом воздуха и самофокусировки света в процессах формирования микроструктур.