Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки
Аннотация:
При промышленном изготовлении многослойных оптических покрытий существенное значение имеет равномерность нанесения оптических пленок на большие по размеру (до 200 мм) дета- ли или кассеты с большим количеством подложек. В настоящей статье рассмотрена зависимость распределения толщины осажденной пленки по радиусу подложки большого размера от геометрических параметров планетарного механизма вращения подложек. Показано, что при некотором соотношении этих параметров неравномерность по толщине нанесенной пленки может не превышать 0,05% на всей поверхности подложки.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Подавление зависимости дифракционной эффективности двухпорядковых рельефно-фазовых дифракционных структур от длины волны
- Реставрация изображений с учетом их структуры
- Оптимальные по критерию Неймана-Пирсона алгоритмы оценивания белых гауссовых импульсных помех на изображениях
- Проблемы развития видеоспектральной аэросъемки
- Миниатюрный фурье-спектрометр «АОСТ» для космических исследований
- Применение термоиндуцированных наноразмерных поверхностных деформаций для ослабления импульсных световых потоков
- Спектрограф высокого разрешения 6-метрового телескопа БТА
- Установка для фотометрирования кроны растений
- Получение заданного линейного распределения показателя преломления в стекле путем диффузии серебра через маску
- Создание в Государственном оптическом институте им. С.И. Вавилова метода выращи- вания крупногабаритных кристаллов оптического лейкосапфира
- Фотолитографические технологии в производстве оптических шкал (сеток)