Например, Бобцов

К ТЕОРИИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ РЕАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ

Аннотация:

В работе рассмотрен вопрос о неправомерности описания шероховатости поверхности эффективным слоем в случае эллипсометрических измерений. Показано, что остаточный сигнал эллипсометра определяется рассеянием излучения на измеряемой поверхности.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере