Исследование возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии
Аннотация:
Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Оптический метод и аппаратура для дезинтоксикации отравляющего действия угарного газа
- Оптический фильтр с угловой селективностью светопропускания
- Применение кратномасштабного анализа для расширения динамического диапазона цветных эндоскопических изображений
- Аберрации объемного голограммного оптического элемента, полученного с помощью цилиндрической объектной и сферической опорной волн
- Физические основы расчета интерферометра с вращающейся пластинкой
- Performance Evaluation of an optical network based on Optical Cross Add Drop Multiplexer Оценка характеристик оптической сети связи на базе оптических кросс-коммутаторов со спектральным мультиплексированием
- Влияние температуры на люминесценцию молекулярных кластеров серебра в фото-термо-рефрактивных стеклах
- Эллиптичность поперечного сечения стеклянного капилляра, сформированного перетяжкой цилиндрической трубы-заготовки
- Эллипсометрические исследования природной оксидной пленки на поверхности теллурида кадмия.
- Диагностика направления температурного ухода по асимметрии полос в отражающем интерферометре
- Формирование покрытий при одновременном испарении двух диэлектриков