Например, Бобцов

Формирование покрытий при одновременном испарении двух диэлектриков

Аннотация:

Рассмотрена возможность формирования покрытий при одновременном испарении двух различных диэлектриков с постоянными по радиальной координате толщиной и показателем преломления. Приведено распределение толщины и показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух плёнкообразующих материалов из источников, находящихся на одинаковых расстояниях от оси вращения подложки.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере