Например, Бобцов

Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера

Аннотация:

Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).

Ключевые слова:

Статьи в номере