Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (14)
Скачать PDF0 Кбайт
Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).