Например, Бобцов

Получение периодических структур глубоким анизотропным травлением для опто- и микроэлектронных устройств

Аннотация:

Данная работа посвящена получению периодических структур на основе щелевого кремния для интегральных фотонных схем. Такие структуры представляют собой одномерное фотонные кристаллы.

Ключевые слова:

Статьи в номере