Например, Бобцов

Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами

Аннотация:

Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.

Ключевые слова:

Статьи в номере