Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (29)
Скачать PDF0 Кбайт
Приведены результаты исследования процессов изменения электрофизических параметров МОП-структур при их выдержке при комнатной температуре после радиационного воздействия под напряже- нием смещения на затворе различной амплитуды и полярности. Показано, что пострадиационные процессы связаны с наличием в окисле отжигаемых и неотжигаемых при комнатной температуре дефектов, характеризующихся различным энергетическим положением в запрещенной зоне.