Например, Бобцов

Исследование пострадиационного эффекта в МОП-структурах, облученных под напряжением

Аннотация:

  Приведены результаты исследования процессов изменения электрофизических параметров МОП-структур при их выдержке при комнатной температуре после радиационного воздействия под напряже- нием смещения на затворе различной амплитуды и полярности. Показано, что пострадиационные процессы связаны с наличием в окисле отжигаемых и неотжигаемых при комнатной температуре дефектов, характеризующихся различным энергетическим положением в запрещенной зоне.

Ключевые слова:

Статьи в номере