Например, Бобцов

Гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур с поликремниевым затвором

Аннотация:

  В работе приведены результаты исследования гистерезиса вольт-фарадных характеристик (ВФХ) МОП-структур с легированным поликремниевым затвором. Показано, что при формировании поликремниево- го затвора появляется характерный гистерезис ВФХ структур кремний-окисел-поликремний, который связан с процессами релаксационной поляризации, обусловленными движением дефектов в окисле.

Ключевые слова:

Статьи в номере