Например, Бобцов

Электрохимический метод микроструктурирования монокристал- лов кремния (краткий обзор)

Аннотация:

  Рассматривается получение пористого кремния методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты. Описаны химические процессы, происходящие во время травления, механизм образо- вания пор и зависимость структуры и свойств полученного пористого слоя от условий, при которых проводилось травление

Ключевые слова:

Статьи в номере