Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (29)
Скачать PDF0 Кбайт
Рассматривается получение пористого кремния методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты. Описаны химические процессы, происходящие во время травления, механизм образо- вания пор и зависимость структуры и свойств полученного пористого слоя от условий, при которых проводилось травление