Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на морфологии и оптические свойства полученных структур
Аннотация:
В настоящее время процесс лазерного микростуктурирования поверхности широко применяется в полупроводниковой микроэлектронике. Изменяя энергию лазерного импульса и время воздействия, можно реализовать широкий диапазон режимов воздействия – от локального нагревания до строго дозированного удаления материала. Из ос- новных способов лазерного микроструктурирования поверхности в настоящей работе используется способ, основанный на локальном нагревании и испарении вещества, ко- торый позволяет модифицировать структуру поверхности кремния и его свойства.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Методы и алгоритмы создания системы верхнего (блочного) уровня АСУ ТП АЭС
- База данных САПР ТП гальванической обработки
- Модели представления знаний экспертных систем
- Алгоритм функционирования системы автоматизированного проектирования рекурсивных кодовых шкал
- Практические вопросы создания автоматизированных систем в защищенном исполнении
- Генетический алгоритм размещения
- Генетический алгоритм трассировки
- Использование фундаментальных алгорит- мов поиска и объединения в разработке программного обеспечения электрон- ных архивов САПР
- Исследование пострадиационного эффекта в МОП-структурах, облученных под напряжением
- Гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур с поликремниевым затвором
- Влияние электрофизических параметров кремниевой подложки на гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур
- Электрохимический метод микроструктурирования монокристал- лов кремния (краткий обзор)
- Применение редкоземельных элементов в квантовой электронике
- Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на электрофизические свойства полученных структур
- Экспертные системы для классификации болезней в медицинской диагностике
- Разработка распреде- ленной базы данных на примере базы данных спортсменов олимпийского резерва
- Моделирование распределения плотности тока в сложном неоднородном проводнике (часть 1)
- Моделирование распределения плотности тока в сложном неоднородном проводнике (часть 2)
- Предварительные эксперименты по измене- нию характеристик газоразрядного свечения волос при различных условиях
- Разработка пользовательской консоли для программного ком- плекса мониторинга и аудита баз данных QDAS
- Группа стандартов WiMAX
- Рекуррентный анализ – теория и практика
- Методы и алгоритмы сжатия графической информации
- Исследование сред и средств для записи синтезированных компьютером голограмм
- Автоматизированная система сбора и обработки геофизической информации в реальном масштабе времени для выявления электромагнитных краткосрочных предвестников сильных землетрясений
- Моделирование ультранизкочастотных электромагнитных эмиссий, возникающих перед и во время сильных землетрясений
- Разработка программного обеспечения для управления системами автоматики холодильных установок
- Анализ и оптимизация бизнес- процессов на предприятии с помощью программного обеспечения
- Практическое применение систем автоматизированного учета на предприятии
- Установка и конфигурирование web-сервера Apache, интерпретатора PHP и сервера баз данных MySQL
- Анализ рисков информационной безопасности в банке
- Описание классификации угроз DSECCT
- Оценка и управление рисками ИТ-безопасности в информационных системах
- Применение стандарта 802.1х для контроля доступа в локальную вычислительную сеть
- Современная специфика обеспечения информационной безопасности локальных вычислительных сетей средних и крупных предприятий России
- Предотвращение угрозы вирусных атак в автоматизированных системах
- Защита информации при межсетевом взаимодействии с помощью межсетевых экранов
- Обзор безопасности беспроводных сетей семейства 802.11
- Оценка метрологических характеристик корреляционного метода частотно-фазовых измерений
- Оценка точности данных навигационных сообщений космиче- ских аппаратов спутниковых радионавигационных систем
- Определение поправок на распространение сверхдлинных электромагнитных волн
- Анализ эксплуатационных свойств плоских упругих чувствительных элементов электромеханических датчиков с регулярным микрорельефом на рабочих поверхностях
- Методы повышения надежности интегральных схем на основе композитных материалов
- Оптический автоколлимационный метод исследования параметров профиля упругих чувствительных элементов при статическом напряженно-деформированном состоянии
- Особенности формирования регулярного микрорельефа на рабочих поверхностях плоских упругих чувствительных элементов электромеханических датчиков
- Разработка усовершенствованных конструкций герконов с улучшенными показателями качества
- Параметры качества рабочих поверхностей упругих чувствительных элементов с регулярным микрорельефом
- Информация и информационные ресурсы в техническом творчестве
- Использование информационных технологий для решения прикладных задач приборостроения
- Расчет параметров эллиптически-поляризованной волны отражающей среды для исследования параметров однородного волновода
- Аппаратные средства решения задач массопереноса (диффузии) жидких сред
- Задача принятия инженерных решений в условиях неопределенности
- Оценка влияния величины источника излучения на параметры массопереноса