Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (29)
Скачать PDF0 Кбайт
Показана особенность формирования микрогеометрии поверхностного слоя плоских упругих чувствительных элементов, что ведет к совокупному улучшению эксплутационных свойств этих устройств.